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REVIEW ARTICLE
Silicon waveguide cantilever displacement sensor for potential application for on-chip high speed AFM
Peng WANG *Aron MICHAEL Chee Yee 
作者单位
摘要
School of Electrical Engineering and Telecommunications, University of New South Wales, Kensington, NSW 2052, Australia
atomic force microscopy (AFM) silicon waveguide silicon coupler high aspect ratio (HAR) nanotips 
PDF全文 Full Text
Frontiers of Optoelectronics
2018, 11(1): 0153
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